DIN ISO 3567-2015 Vakuummeter – Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit einem Bezugsnormal (ISO 3567:2011).
5 Messprinzip
Das zu kahbrierende Vakuummessgerat UUC und das Bezugsnormal sind an die gleiche Kalibrierkammer angeflanscht.
Bei der Kalibrierung eines UUC durch Vergleich mit einem Bezugsnormal wird der Eingangsflansch des UUC und des Bezugsnormals der gleichen Gasdichte und der gleichen Geschwindigkeitsverteilung der Gasteilchen ausgesetzt, Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung bedeutet, dass auch der Druck an den zwei Orten gleich 1st, jedoch ist der umgekehrte Schluss nicht immer nchtig. Viele Vakuummeter messen nicht den Druck sondern stattdessen z. B. die Gasdichte oder die Auftreffrate von Gastelichen, weswegen die obige Bedingung der Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung sowohi notwendig 1st as auch wesentlich präziser als nur Gleichheit der Drücke zu fordern.
Die Gasdichte (der Druck) in der Kalibrierkammer kann varilert werden und so die jeweiligen Anzeigen von Bezugsnormal und UUC verglichen werden.
Von diesem Messprinzip werden die folgenden Forderungen für die Konstruktion und den Aufbau des Vakuumsystems abgeleitet.
6 Anforderungen
6.1 Konstruktion der Kalibrierkammer
Die Kalibrierkammer muss so konstruiert sein, das die Gasdichte im Messvolumen hinreichend homogen und zeithch stabil 1st.
Darüber hinaus muss das Material der Kalibrierkammer so gewählt werden, dass der Restdruck, Pr. der durch das effektive Saugvermogen der Pumpe q1.r (effektive Volumenflussrate in die Pumpe) und die gesamte Ausgasrate Qt in der Kalibrierkammer gegeben ist (Abwesenheit von Lecks), klein genug 1st, urn die kleinsten Kalibrierdrücke zu erreichen, wie in Gleichung (1) ausgedruckt (siehe auch 6.3).
Dies bedeutet im Detail, dass die Kalibrierkammer gema den untenstehenden Punkten konstruiert und betrieben werden muss. Die Merkmale a) bis e) durfen unbericksichtigt bleiben, wenn die kleinsten Kalibrierdruicke, die in der Kalibrierkammer realisiert werden, 100 Pa nicht unterschreiten und zusatzlich diese nur statisch (siehe 7.1) eingestellt werden. Unabhangig vom Druck durfen die Merkmale b) bis d) unbericksichtigt bleiben, wenn die Dricke nur statisch eingestellt werden.
a) Das Volumen der Kalibrierkammer muss zwanzig Mal groBer als die Summe aller Volumen der angeschlossenen Vakuummeter, einschlieBlich der zugehorigen Rohr- und Verbindungssticke, sein (beispielsweise zaht ein Rohrbogen zum Messkopf als Teil der zusatzlichen Volumina).
b) Die Form der Kalibrierkammer (siehe Bild 1) muss in mindestens einer Achse Zylindersymmetrie besitzen. Eine Kugel wird als Idealform angesehen, jedoch sind zwei gleiche Kugelsegmente， aneinander angeflanscht, oder Zylinder gleichfalls moglich. Wenn ein Zylinder verwendet wird, muss dessen Gesamtlange zwischen ein und zwei Durchmessern liegen. Fur die Endflachen werden Klopperboden empfohlen.
c) Die Querschnittsmitten des Pumpauslasses und des Gaseinlasses (wenn anwendbar, s.u.) mussen sich auf der gleichen zyindrischen Symmetrieachse der Kalibrierkammer befinden. Der Gaseinlass darf auch zwischen Pumpauslass und Pumpsystem (siehe 6.3) liegen. In diesem Fall muss der Gaseinlass nicht auf der Symmetrieachse liegen.
d) Alle Eintitsflachen und ihre zugehorigen Flansche, an die die UUCs und das Bezugsnormal montiert werden, mussen sich auf einer gemeinsamen Aquatorialebene befinden, welche senkrecht auf der zylindrischen Symmetrieachse steht, auf der der Pumpauslass liegt.DIN ISO 3567 pdf download.